四探针电阻率测试工作原理工作原理及组成部分

 四探针电阻率测试工作原理工作原理及组成部分

四探针测试仪的测试理论已经相当成熟，依据的理论是范德堡原理，采用的是直流四探针测试法，如图1所示，是用针距为1mm的四根探针同时压在样品的表面上，利用恒流源给外面的1，4探针通过电流，再从2，3探针上测量出电位差，经过相关运算得到材料的电阻率.当四根探针排成一直线时，并施加一定压力在半导体上时，则半导体的材料电阻率：ρ=CV/I （Ω·cm）

式中C为探针修正系数，cm，当针间距确定后是一个常数，与样品无关，V₂₃为2，3针间的电压，V；I为通过的电流，mA.