体积表面电阻率测试仪的结构组成、测量精度

体积表面电阻率测试仪由电极系统、高阻计、直流高压源、屏蔽箱及控制系统构成。核心部件为三电极结构：主电极（直径≥50mm）、环形保护电极（间隙≤2mm）及接地电极，采用不锈钢或镀金工艺确保接触阻抗＜0.1Ω。高阻计配备10^15Ω输入阻抗的前置放大器，电流分辨率达0.1fA（10^-16A），电压源输出0-1000V DC，精度±0.5%+2V。屏蔽箱采用双层电磁屏蔽设计，内部残余噪声＜5μV。测量时通过四线法消除引线电阻误差，自动切换10^3-10^16Ω量程。在标准环境（23±1°C，50±5%RH）下，体积电阻率测量误差≤±5%（10^6-10^14Ω范围），表面电阻率重复性±3%。校准采用国家标准电阻器（10^6/10^9/10^12/10^15Ω），年稳定性±0.5%。测试电压纹波系数＜1%，电极系统电容补偿精度±0.5pF。