体积表面电阻率测试仪——操作流程以及关键原理分析

体积表面电阻率测试仪核心操作流程与关键原理

1. 设备初始化与调零

电源与预热：

确保电源为220VAC/50Hz，接地可靠（防止漏电干扰）。

开机后预热10分钟，消除电路温漂，提高稳定性（晶振电路需热平衡）。

调零校准：

原理：消除设备本底电流（如PCB漏电流、放大器偏置电流）。

操作：断开所有测试线（Rx开路），电流量程置10⁴档，调节调零旋钮使显示为“0000"。

风险：带负载调零会导致测量误差（例：若未调零，1nA本底电流将导致在10⁹Ω量程时误差达100%）。

2. 样品准备与电极配置

样品要求：

尺寸：需覆盖整个“不保护电极"（防止边缘漏电，常规尺寸Φ50±5mm）。

厚度测量：需用千分尺精确至±0.01mm（厚度输入错误10% → 电阻率误差10%）。

三电极系统原理：

被保护电极（蓝色）：测量主电流通路，接高阻计输入端。

不保护电极（中间黑）：施加电压，形成均匀电场。

保护电极（左侧黑）：吸附边缘杂散电流（保护环设计提升精度>10%）。